处理hf时，请戴手套，如不小心碰到hf时，请马上冲水，用葡萄酸钙加2%之水，揉擦伤处15'.石英玻璃制品请小心运用，防止破裂，引起严重割伤。防止吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。
（kcn）不行与酸类混置，因两者可产生剧毒之kcn气体。一旦发现有妨碍安全之事物时，请立即通知有关人员（技术员等）。请节约纯水用量。破晶片、滤纸、棉花棒……等。
请勿掉入清洗槽的底部排水孔，防止因排水不良形成地板渍水。长短推杆之前端，在还没运用到时，请朝上防止污染。晶片进出炉口时，承接boat的holder,请勿碰触炉管口，防止污染炉管。